用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变

Tags：激光束成像 弹性膜 论文摘要 用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变
用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜应变进行的研究,测出了该弹性膜的应变情况 ,此方法对其它结构形式的敏感芯片应变的研究也有一定的参考价值.

用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变

用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变